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SJ6000工業(yè)精密激光干涉儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

SJ6000激光干涉儀精密測量及校準(zhǔn)系統(tǒng)可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動(dòng)態(tài)測量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

SJ6000激光干涉機(jī)床校準(zhǔn)補(bǔ)償儀是一種高精度測量設(shè)備，采用邁克爾遜干涉原理進(jìn)行線性測量，可以測量機(jī)床的線性定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙等。它通過高精度的環(huán)境補(bǔ)償模塊，能夠自動(dòng)補(bǔ)償激光波長和材料特性，從而確保測量結(jié)果的準(zhǔn)確性。

SJ6000導(dǎo)軌直線度激光干涉測量儀使用高性能氦氖激光器，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達(dá)到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)。結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

SJ6000線性位移精度激光干涉測量儀廣泛應(yīng)用于機(jī)床、三坐標(biāo)、機(jī)器人、3D打印設(shè)備、自動(dòng)化設(shè)備、線性位移平臺(tái)、精密機(jī)械設(shè)備、精密檢測儀器等領(lǐng)域的線性測量。

SJ6000機(jī)床導(dǎo)軌高精度激光干涉檢測儀利用激光干涉現(xiàn)象來實(shí)現(xiàn)非接觸式測量，具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點(diǎn)。結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

SJ6000高精度環(huán)境補(bǔ)償激光干涉儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

中圖儀器0.05ppm穩(wěn)頻精度激光干涉儀SJ6000非接觸式、高精度的特點(diǎn)使其適用于各種復(fù)雜的運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，不僅僅局限于運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌，還可以檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。