以激光干涉技術為核心,SJ6000激光干涉儀機床精度測試的分辨率可達納米級。有測量機床回轉軸精度、直線度、線性、運動導軌的俯仰角、扭擺角、定位精度、垂直度等檢測功能,且可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,滿足機床誤差修正的要求。
中圖儀器的國產sj6000激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點,結合不同的光學鏡組,可實現平行度、線性測長、直線度、垂直度、角度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態測量軟件配合下,還可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析,如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。
SJ6000激光干涉儀量程精度高,可以棄普通車間進行應用,環境適應能力強,同時可進行動態高速測量,配以相應元件后還可以測量線速度、角度、平面度、振動幅度及速度等。
SJ6000機床設備激光干涉儀品牌以光波為載體,其光波波長直接對米進行定義,廣泛應用于機床、精密機械設備、3D打印設備、自動化設備、三坐標、機器人、線性位移平臺、精密檢測儀器等領域的線性測量,是高精度、高靈敏度測量儀器。
精密激光干涉儀具有豐富的模塊化組件,可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。
國產激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術于一體,產品采用進口高性能氦氖激光器,其壽命可達50000小時;采用激光雙縱模熱穩頻技術,可實現高精度、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出;
機床激光干涉儀以光波為載體,其光波波長可以直接對米進行定義,且可以溯源至國家標準,是高精度、高靈敏度的測量儀器,在制造領域應用廣泛。
SJ6000國產激光干涉儀可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等多幾何參量的高精密測量,用于檢測數控機床、自動化設備、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等,以及進行數控機床、三坐標測量機的精度補償。
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