NS系列國產亞埃級分辨率臺階儀采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調節的能力和亞埃級的分辨率,同時,其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術,使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性。
NS系列探針式輪廓儀臺階儀采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,具備超微力調節的能力和亞埃級的分辨率,同時,其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術,使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性。
NS系列探針式臺階儀應用場景適應性強,其對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求,可測量沉積薄膜的臺階高度、抗蝕劑(軟膜材料)的臺階高度等。
NS系列高重復性大量程臺階儀臺階高度重復性能低于5A,Z0向測量量程可到1050um。最高垂直分辨率可達亞埃米級,且垂直方向動態比率高,可以獲取表面輪廓形貌、粗糙度、波紋度、形狀誤差及其它一些形貌特征等綜合信息。探針物理接觸測量結果穩定可靠,重復性好,精準拿捏測量的輪廓形貌細節。
中圖儀器NS系列探針式電池薄膜臺階厚度儀應用場景適應性強,其對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求,可測量沉積薄膜的臺階高度、抗蝕劑(軟膜材料)的臺階高度等。
NS系列薄膜臺階測厚儀應用場景適應性強,其對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求,可測量沉積薄膜的臺階高度、抗蝕劑(軟膜材料)的臺階高度等。