光學3D輪廓儀是一種用于測量物體表面三維形貌的精密儀器。它基于光學原理,特別是白光干涉技術,以非接觸的方式獲取物體表面的高度、形狀和輪廓信息。工作原理是通過光源發出的光,經過特定的光學系統(如分光棱鏡)分成兩束或多束光,一束或多束光照射到被測物體表面并反射回來,另一束或多束光則作為參考光。當這兩束或多束光再次相遇時,它們會發生干涉,形成特定的干涉條紋或圖案。這些干涉條紋或圖案會攜帶有關被測物體表面形貌的信息,通過專門的圖像處理和分析軟件,可以解算出物體表面的三維形貌數據。
1、高分辨率:利用白光干涉技術,能夠實現優于納米級別的高分辨率測量。
2、非接觸測量:采用光學原理進行測量,避免了物理接觸可能對樣品表面造成的損傷或測量誤差。
3、多功能性:除了測量表面形貌,還能夠測定表面的粗糙度、波紋度、面形輪廓等參數。
4、廣泛應用:適用于各種產品、部件和材料的表面質量分析,包括表面缺陷和磨損情況的檢測。
5、精確度高:通過不同光學元件形成的參考光路和檢測光路,確保了測量結果的準確性和可靠性。
綜上所述,光學3D輪廓儀以其高精度、非接觸式測量能力、多功能性以及廣泛的應用范圍,在精密工程、材料科學以及其他需要表面質量分析的領域中發揮著重要作用。這些技術特點使得光學3D輪廓儀成為研究和工業應用中不可缺工具。